工具;
2.7 AFM工具及探针。
3.主要技术指标:
3.1 一体式系统设计:包含控制器,XYZ扫描器、Z向自动逼近马达装置,顶视光学辅助系统、以及防震系统于一体;
3.2 扫描方式为针尖扫描,扫描过程中样品不动;
3.3 XY向最大扫描范围:70um(分辨率1nm);
3.4 扫......
https://www.cgs.gov.cn/tzgg/zfcg_5637/zbxx_5638/202006/t20200612_639505.html 发布时间:2020.06.12 11:30:00