面分析和三维成像功能;用于测试不同基底样品表面微观粗糙度和各种薄膜样品表面的粗糙度及表面微结构情况。设备配备控制系统与大范围扫描测量头,可应用于光学、微电子、半导体、材料和纳米科技等领域。 1.设备总体要求及工作条件: 1.1 设备必须具有良好的操作性,方便的维......