减少故障率。 更正前： 7.能谱仪技术指标（总分5，满足“※”项得4分，其它项满足一项得0.2分，不满足不得分） ※7.6 可在同一条件下（同电压、束流、工作距离等）实现能谱和波谱的一体化面分布分析，可用能谱来采集主量元素，波谱采集痕量元素，缩短面分布采集时间。 ......
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