面积达到110平方米,由精密仪器室、操作室、更衣室、气瓶室和风机室等组成,其中精密仪器室净化等级达到万级。超净实验室采用智能自动化控制系统,对各单元排风进行独立控制和监测,实现洁净度、温度、湿度动态控制。 沈阳地调中心超净实验室现已完成激光剥蚀系统(LA)和高分辨电感......