32nm激发波长,外置激光器功率不低于45mW。 必须具备升级紫外激发波长的功能。 不同激发波长采用独立的,按波长独立优化的激光入射光路,以保证每个波长均有最优的通光效率,避免互相影响。 *要求必须配置激光扩束器,使得激光光斑尺寸在焦平面内连续可调,并能连续改......