辨率0.01nm，本底噪声0.1nm
（4）纳米压痕仪扫描台运动范围需≥9um
（5）纳米压痕仪运动台闭环分辨率≥1nm
（6）纳米压痕仪传感器测量分辨率需满足0.04nN，本底噪声: 0.4nN，测量范围满足-100 mN～+100 mN，考虑到传感器压头为消耗品，故使用方可自行更换压头
（7）纳米......
https://www.cgs.gov.cn/tzgg/zfcg_5637/zbxx_5638/202210/t20221027_716212.html 发布时间：2022.10.27 09:25:00
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