格。
更正前：
1. 电子光学系统（总分17.5， 满足“※”项得4分，其它项满足一项得0.5分，不满足不得分）。
※1.1 电子枪：肖特基场发射枪；电子枪寿命保证不少于3年；
※1.2二次电子图像分辨率：≤2.5nm (30kV, 1×10-11 A, 工作距离11mm)；束斑尺寸：≤20nm。
......
https://www.cgs.gov.cn/tzgg/zfcg_5637/zbxx_5638/202205/t20220526_700794.html 发布时间：2022.05.25 15:49:00
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