率1nm);
3.4 扫描器Z向测量范围:14um(分辨率0.2nm);
3.5 噪音水平:小于0.5nm;
3.6 马达控制自动逼近:最大行程4mm,线性马达自动逼近,连续逼近或步进逼近;
3.7 样品台尺寸:12mm直径以内样品每个点可测;最大能放置30mm×30mm的样品,移动范围受限;
......
https://www.cgs.gov.cn/tzgg/zfcg_5637/zbxx_5638/202006/t20200612_639505.html 发布时间:2020.06.12 11:30:00