1. 电子光学系统(总分17.5, 满足“※”项得4分,其它项满足一项得0.5分,不满足不得分)。
※1.1 电子枪:肖特基场发射枪;电子枪寿命保证不少于3年;
※1.2二次电子图像分辨率:≤2.5nm (30kV, 1×10-11 A, 工作距离11mm);束斑尺寸:≤20nm。
※ 1.7 束流稳定度:......
https://www.cgs.gov.cn/tzgg/zfcg_5637/zbxx_5638/202205/t20220526_700794.html 发布时间:2022.05.25 15:49:00