动台闭环分辨率≥1nm
（6）纳米压痕仪传感器测量分辨率需满足0.04nN，本底噪声: 0.4nN，测量范围满足-100 mN～+100 mN，考虑到传感器压头为消耗品，故使用方可自行更换压头
（7）纳米压痕仪需与显微镜，极端环境系统等兼容搭配使用
（8）纳米压痕仪样品台需与制样台等......
https://www.cgs.gov.cn/tzgg/zfcg_5637/zbxx_5638/202210/t20221027_716212.html 发布时间：2022.10.27 09:25:00
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